微焦点X射线机检测原理
在 X 射线管中,电子从热阴极中出来,通过一个电场,向阳极加速。在撞到阳极时停止,同时释放出 X 射线。碰撞区域的大小就是 X 射线源的大小。在 微焦点 X 射线管中,电子通过聚焦线圈的磁场力作用,聚焦在阳极靶上一个直径微米级的焦点上。通过这种方式 X 射线源变得很小,在高放大率的情况下能得到分辨率在微米范围内的清晰图像。
在 微 焦点 X 射线检测 的过程中,扇形的 X 射线 穿过被检样品,然后在图像探测器上形成一个放大的 X 射线 图像。该图像的质量主要由以下三点决定:放大率、分辨率及对比度。 图像分辨率 ( 清晰度 ) 主要由 X 射线 源焦点尺寸的大小决定。 图像的几何放大率由 X 射线 光路的几何性质决定 ( 图 1) 。

物体的细微特征在图像上的表现力主要是由该部分的固有属性在 X 射线 图像上产生的对比度决定的。对比度主要由物体内部的不同厚度,及不同材料 ( 如铸件中的气孔,焊缝中的夹杂物等 ) ,对 X 射线 不同程度的吸收而引起的。举例来说,样品 A 和 B 拥有相同的厚度,如果 A 的原子序数较 B 大,则它对 射线 的吸收性能较 B 强。 C 与 B 的组成物质相同,若 C 比 B 薄,则其对射线的吸收性能比较弱。

对比度除与被测物体对 X 射线吸收特性有关外,还与 X 射线探测器的性能有关。 常见的 X 射线探测器有图像增强器、平板探测器和线阵列探测器。
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